МЕТОДИ ДОСЛІДЖЕННЯ МАТЕРІАЛІВ ТА КОМПОНЕНТІВ МІКРО -ТА НАНОСИСТЕМНОЇ ТЕХНІКИ
Метою викладання дисципліни є надання знань про експериментальні методи виміру параметрів, які є основними для виробничого контролю якості матеріалів і структур та складають основу багатьох методів дослідження напівпровідників і інших перспективних матеріалів, що є базою для створення приладів мікро- та наноелектронної техніки.