General
Викладач Яновський Олександр Сергійович, доцент кафедри загальної та прикладної фізики.
Курс присвячено основним технологічним методам та прийомам, що застосовуються при виготовленні мікро- та наноелектронних приладів: виготовалення кремнію напівпровідникової якості; виготовлення кремнієвих пластин; окислення кремнію; фотолітографія; електронна та рентгенівська літографія; іонна імплантація домішок тощо