Tematyka

  • Sekcja ogólna

    Викладач Яновський Олександр Сергійович, доцент кафедри загальної та прикладної фізики.

    Курс присвячено основним технологічним методам та прийомам, що застосовуються при виготовленні мікро- та наноелектронних приладів: виготовалення кремнію напівпровідникової якості; виготовлення кремнієвих пластин; окислення кремнію; фотолітографія; електронна та рентгенівська літографія; іонна імплантація домішок тощо



  • Temat 1

    • Temat 2

      • Temat 3

        • Temat 4