Perfilado de sección

  • Электронна мікроскопія. Методи утворення, контролю, дослідження гетероструктур.  Скануюча тунельна мікроскопія (СТМ). Рентгено-структурний аналіз. Мас-спектрометрія. ІЧ- та раманівська ектроскопія.