Структура за темами

  • Загальне

  • Модуль 1. ТОНКІ ПЛІВКИ В НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ПРИЛАДАХ І МІКРОСХЕМАХ

    • Модуль 2. ФІЗИКА ТОНКИХ ПЛІВОК. ВЛАСТИВОСТІ

      • Модуль 3. НАНЕСЕННЯ ПЛІВОК МЕТОДОМ ТЕРМІЧНОГО ВИПАРОВУВАННЯ

        • Модуль 4. НАНЕСЕННЯ ПЛІВОК МЕТОДОМ ЙОННОГО РОЗПИЛЕННЯ

          • Модуль 5. РІДИННО- ТА ГАЗОФАЗНА ЕПІТАКСІЯ

            • Модуль 6. ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВОК СПОЛУК А IVВ VI

              • Модуль 7. ФОТОЕЛЕКТРИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ТОНКИХ ПЛІВОК

                • Модуль 8. КОНТРОЛЬ ПАРАМЕТРІВ ПЛІВОК І ТЕХНОЛОГІЧНИХ РЕЖИМІВ НАНЕСЕННЯ