Tematyka

  • Анотація дисципліни

    Викладач: д.т.н., професор Критська Тетяна Володимирівна

    Метою дисципліни «Обладнання і технології мікро- і наноелектроніки» є ознайомлення із сучасними технологіями та обладнанням щодо виробництва інтегральних мікросхем (ІМС) та виробів наноелектроніки.

    По завершенню навчання по даній дисципліні, студенти повинні:

    Знати:

    - перелік і послідовність етапів технології виготовлення ІМС та виробів наноелектроніки; 

    - вимоги до чистоти виробничих приміщень та їх класифікацію;

    - види основного обладнання щодо одержання та вимірювання характеристик якісних параметрів ІМС і виробів наноелектроніки.

    Вміти:

    - оцінювати можливості використання матеріалів щодо конструкції певного СПП;

    - порівнювати властивості напівпровідникових щодо використання у конструкціях різних класів СПП;

    - здійснювати вибір основного обладнання (механічної обробки монокристалів, дифузії та окислення, напилення, металізації); проводити аналіз  розрахунки електронних компонентів функціональних вузлів та блоків, що входять до складу джерел живлення промислових озонаторів; 

    - орієнтуватись у режимах основних технологічних операцій  з одержання СПП різних класів 


  • Temat 1

    • Temat 2

      • Temat 3

        • Temat 4