Анотація дисципліни
Викладач: д.т.н., професор Критська Тетяна Володимирівна
Метою дисципліни «Обладнання і технології мікро- і наноелектроніки» є ознайомлення із сучасними технологіями та обладнанням щодо виробництва інтегральних мікросхем (ІМС) та виробів наноелектроніки.
По завершенню навчання по даній дисципліні, студенти повинні:
Знати:
- перелік і послідовність етапів технології виготовлення ІМС та виробів наноелектроніки;
- вимоги до чистоти виробничих приміщень та їх класифікацію;
- види основного обладнання щодо одержання та вимірювання характеристик якісних параметрів ІМС і виробів наноелектроніки.
Вміти:
- оцінювати можливості використання матеріалів щодо конструкції певного СПП;
- порівнювати властивості напівпровідникових щодо використання у конструкціях різних класів СПП;
- здійснювати вибір основного обладнання (механічної обробки монокристалів, дифузії та окислення, напилення, металізації); проводити аналіз розрахунки електронних компонентів функціональних вузлів та блоків, що входять до складу джерел живлення промислових озонаторів;
- орієнтуватись у режимах основних технологічних операцій з одержання СПП різних класів