Структура за темами

  • Анотація дисципліни

    Електроніка, мікро-та наноелектроніка    один з найбільш затребуваних напрямів підготовки здобувачів у провідних університетах світу. Ця область включає до себе як великі електронні системи (енергетичні системи, системи управління в і т.інш.), так і вироби технології мікроелектроніки (інтегральні схеми високого ступеню інтеграції, датчики, системи на кристалі та в корпусі), телекомунікаційнї системи (дротові, бездротові, супутникові, оптоволокнні), обробку сигналів, нейронні сіті, медичне обладнання, оптоелектроніка, фотоніка, перспективна наноелектроніка та інші технології, що розвиваються. Підготовка висококваліфікованих фахівців, які мають креативні знання на стику декількох напрямів: фізикі, квантової фізикі, інформатикі, матеріалознавства, нанотехнологій, квантової наноелектроніки, фотоніки, спінтроніки, теорії зв’язку, які необхідні для рішення комплексних задач різних галузей народного господарства, що пов’язані з інформаційними технологіями, включаючи космічну, оборонну техніку, конкурентну розвідку та національну безпеку. Саме курс і орієнтовано на ці області.  Важною і актуальною проблемою у теперішній час є створення кванто-оптичних інтегральних мікросхем для роботи у середньому та близькому інфрачервоному діапазоні, які можуть працювати на рівні одиничних фотонів. При тому, що такі мікросхеми поки що не створені, підготовка фахівців, що мають близькі напрями підготовки, має важливе значення для майбутнього. Це дозволить відкрити нові горизонти для фундаментальних досліджень у широкому спектрі дисциплін, які набудуть ВОСТРЕБОВАНИ у близькому майбутньому – штучний інтелект, квантова криптографія, лінгвістика, квантова інформатика, нейрохірургія. Ціль кусу «Технології мікро- та наносистемної техніки – підготовка конкурентноспроможних на вітчизняному та міжнародному ринку праці спеціалістів вищої кваліфікації, здібних вирішувати комплекні задачі передачі, зберігання і обробки інформації з використанням методів інформаційних технологій і з урахуванням найбільш провідних сучасних досягнень науки і техніки.

  • Змстовий модуль 1

    Історична довідка. Класифікація процесів мікро- та нанотехнології (МНТ) згідно фізико-хімічній суттєвості.

  • Змістовий модуль 2

    Види термічної, корпускулярно-променевої дії: резистивний, променевий нагрів, індукційний нагрів електронні, іонні лазерні пучки. Плазма. Каталітична властивість поверхні, атомно-силовий вплив.

  • Змістовий модуль 3

    Виробнича чистота і гігієна в процесах МНТ. Чисті приміщення, класифікація, способи підтримання чистоти. Вакуум, методи відкачування вакууму, контроль. Технологічні середовища. Базові операції очищення рідких та газоподібних середовищ. Токсичні, вибухонебезпечні та пожежонебезпечні середовища. Утилізація.

  • Змістовий модуль 4

    Опис основних процесів виготовлення інтегральних схем: методи вирощування,  різання монокристалів та початкової обробки пластин (шліфування. полірування,  , ультразвукове, хімічне травлення). класифікація ІС.

  • Змістовий модуль 5

    Методи нерівноважного синтезу наночастинок та нанокомпозитіів. Плазма, вакуумно-дугове розпилення, плазма з НВЧ-стимуляцією, хімічний синтез, осадження на холодну підкладку, кластеризація, атомізація. Технологія одержання легованих шарів методами термічної дифізії та іонно- проміневого легування. Типове обладнання. Види дифузії. Закони Фіка. Технологія маскування. Відпал дефектів.

  • Змістовий модуль 6

    Літографічні процеси. Еволюція процесів експонування, високоефективні джерела випромінювання (далекий ультрафіолет, електронно-іонно- рентгенолітографія), атомно-зондова  нанолітографія.

  • Змістовий модуль 7

    Квазірівноважні методи формування мікро- та нанокомпозицій: молекулярно-променева епітаксія, лазерна абляція, газофазна епітаксія, молекулярна збірка із газової фази. Золь-гель технології. Гомо- та гетеро епітаксія. Одержання легованих епітаксійних шарів.


  • Змістовий модуль 8

    Методи нанорозмірної обробки та наномодифікації матеріалів. Виборчі та надпрецизійні методи травлення. Іонно-променеве нанофрезерування, іонно-стимульовані селективне газове травлення, хімічний синтез, атомна модифікація поверхні. Формування упорядкованих масивів квантових точок. Основні напрями дослідження самоорганізованих структур.