Тематический план

  • Анотація дисципліни

    Викладач: д.т.н., професор Критська Тетяна Володимирівна

    Метою дисципліни «Сучасні технології кремнію напівпровідникової чистоти» є ознайомлення з існуючою ситуацією щодо проблем світового виробництва напівпровідникового кремнію, зокрема з методами рафінування металургійного кремнію, удосконалення Siemens-процесу та одержання монокристалів за методами Чохральського, безтигельного зонного плавлення та електронно-проміневого очищення розплавів. 

    По завершенню навчання по даній дисципліні, студенти повинні:

    Знати:

    - технології одержання кремнію напівпровідникової якості, стосовно до потреб регіональних виробництв; 

    - основні сировинні ресурси (кварцити, вуглецеві відновлювачи, енергетичні добавки до шихти);

    - технологічні схеми одержання кремнію для мікроелектроніки, силової електроніки, фотовольтаїки та спеціальних використань.

    Вміти:

    - оцінювати існуючи методи за показником орієнтуватись у факторах розмірності мікро- та нанооб’єктів;

    - порівнювати особливості процесів, що є загальними для мікро- і нанопроцесів, та оцінювати їх відмінності;

    - проводити вибір основного технологічного обладнання (вакуумне, електротермічне, вимірювальне) для виробничого циклу конкретного виробу.


  • Модуль 1

    Предмет та задачі курсу. Кремній яскравий представник елементарних напівпровідників. Електронна структура елементу


  • Модуль 2

    Розповсюдження кремнію у земної корі. Поняття «кларку». Хімічні властивості кремнію. Фізичні властивості кремнію.


  • Модуль 3

    Історія відкриття елементу Si. Відомі технології одержання елементарного кремнію. Відкриття особистих електричних властивостей Si.

  • Модуль 4

    Фізичні основи фотоефекту. Фотоперетворення.  

  • Модуль 5

    Технології одержання елементарного  кремнию. Карботермічне відновлення.

  • Модуль 6

    Хлоридні та фторидні технології. Методи очищення проміжних продуктів

  • Модуль 7

    Технологія Сименс-процессу. Гідрохлорування. Водневе відновлення


  • Модуль 8

    Перспективна технологія  «Кремній з піску». Порівняння із Сименс-процесом


  • Модуль 9

    Технології одержання монокристалів кремнію. Мікроелектронне, силове призначення

  • Модуль 10

    Монокристали для спеціальних цілей. Монокристали та мультікристали для фотовольтаїки


  • Ректорський контроль